스퍼터링은 스퍼터링 타겟에서 원자를 방출하고 방출된 원자를 고진공 환경에서 기판에 응축시켜 기판에 재료를 증착하는 데 사용되는 물리 기상 증착(PVD) 공정입니다.
타겟 화학 성분에 따라 스퍼터링 타겟은 1. 금속 스퍼터링 타겟, 2. 합금 스퍼터링 타겟, 3. 세라믹 스퍼터링 타겟의 세 가지 유형으로 나눌 수 있습니다.
스퍼터링은 스퍼터링 타겟에서 원자를 방출하고 방출된 원자를 고진공 환경에서 기판에 응축시켜 기판에 재료를 증착하는 데 사용되는 물리 기상 증착(PVD) 공정입니다.
타겟 화학 성분에 따라 스퍼터링 타겟은 1. 금속 스퍼터링 타겟, 2. 합금 스퍼터링 타겟, 3. 세라믹 스퍼터링 타겟의 세 가지 유형으로 나눌 수 있습니다.