증발 공정은 PVD 코팅의 일반적인 기술로 1×10∼6 torr(1.3×10∼6 torr) 이하의 진공 챔버에서 원료 물질을 증발시키고 증발된 입자를 기판에 응축시키는 과정을 포함한다. 일반적으로 원료 물질을 증발시키는 데 사용되는 발열체를 "증발원"이라고 하는 경우가 많습니다.
증발 소스는 일반적으로 Cu, W, Mo 또는 Ta와 같은 내화성 금속(매우 높은 융점을 가짐)으로 만들어지며 세라믹 코팅이 있거나 또는 포함되지 않거나 석영, Al2O3, ZrO2, BN, BN-TiB2 및 석묵.
증발 공정은 PVD 코팅의 일반적인 기술로 1×10∼6 torr(1.3×10∼6 torr) 이하의 진공 챔버에서 원료 물질을 증발시키고 증발된 입자를 기판에 응축시키는 과정을 포함한다. 일반적으로 원료 물질을 증발시키는 데 사용되는 발열체를 "증발원"이라고 하는 경우가 많습니다.
증발 소스는 일반적으로 Cu, W, Mo 또는 Ta와 같은 내화성 금속(매우 높은 융점을 가짐)으로 만들어지며 세라믹 코팅이 있거나 또는 포함되지 않거나 석영, Al2O3, ZrO2, BN, BN-TiB2 및 석묵.
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