증발 공정은 1×10-6 torr(1.3×10-6 torr) 미만의 진공 챔버에서 원료 물질을 증발시키고 증발된 입자를 기판에 응축시키는 것으로 구성됩니다. 증착된 막의 순도는 진공의 품질과 증발원 물질의 순도에 따라 달라집니다.
증착 재료의 화학적 조성은 금속 증착 재료, 산화물 증착 재료, 불소 증착 재료의 3가지 유형으로 나눌 수 있습니다.
증발 공정은 1×10-6 torr(1.3×10-6 torr) 미만의 진공 챔버에서 원료 물질을 증발시키고 증발된 입자를 기판에 응축시키는 것으로 구성됩니다. 증착된 막의 순도는 진공의 품질과 증발원 물질의 순도에 따라 달라집니다.
증착 재료의 화학적 조성은 금속 증착 재료, 산화물 증착 재료, 불소 증착 재료의 3가지 유형으로 나눌 수 있습니다.
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